PHOTORESIST
●Positive Photoresist
Positive Photoresist는 반도체, 디스플레이 등의 미세 패터닝 공정에서 사용되는 감광성 물질로서, 빛(자외선)에 노출된 부분이 용해되어 제거되는 특성을 가지는 물질.
AR-P3200
AZ 1500
AZ GXR-601(46CP) ,AZ GXR-601(14CP)
AZ GXR-650
AZ P 4000 series (AZ P4110, AZ P4210, AZ P4330-RS, AZ P4620, AZ P4903… )
AZ 6100 series (AZ 6124……)
AZ 9260
AZ MIR 700 series
DS-i900 ,DS- i1000
DPR-i1549
DPR-i2402
DTFR-330R (Roll coating)
PFI-DW 38A9
ZPP-1700PG
기타 Positive PR…
●Negative Photoresist
Negative Photoresist는 자외선(UV) 등의 빛에 노출된 부분이 경화(고분자화)되어 남는 특성을 가진 감광성 물질로서, 빛을 받은 부분이 단단해지고, 노출되지 않은 부분이 제거되는 물질.
AR-N4400 series
AZ LOR 28
AZ nLOF 2000 series (AZ nLOF2070…)
AZ nLOF 5000 series ( AZ nLof 5510….)
AZ 15nXT , AZ 125nXT…
DNR L300-40 , DNR L300-D1 , DNR L300-30(단종)
DNPR-4615D ,DNPR-2000L
LOR series (LOR-3B,LOR-7A,LOR-15A, LOR-3B…)
YNP-3000L
ZPN-1150 , ZPN-2464
NR 9-1000PY , NR 9-1500PY ,NR 9-3000 ….(futurrex)
Su-8 series
기타 Negative PR …
●기타 용도별 PHOTORESIST
AZ 4999 (spray PR)
AR-P1200 (spray PR)
AZ 5214-E (image reversal PR)
DTFR-330R ,DTFR-852 (Roll coating)
–Krf PR
AZ DX 3200P ,TX 1311 ,KY-862A42 , DJKR-18xx series , DHK-BF511
-E-beam PR
XR-1541 (negative)
ZEP-520A (positive)
-Bump(Thick) PR
AZ 40XT-11D… , 125nXT…
AZ P4620
AZ IPS 6000
THB-110N , THB-111N , THB -121N ,THB-126N ,THB-151N
SU-8 series
KMPR-1000 series
DNPR-2000L
NBR-510
DPPR-AK400
ma-P 1275HV